下一页： ks-l150-2c直线型全自动匀胶机
适用于在光通信芯片制造过程中6″标准圆形基片匀胶工艺。 1.整机采用框架结构，主要由盒站单元、传片单元、匀胶单元、热处理单元、冷盘恒温单元、控制系统、光刻胶供应系统及排液系统等组成。 2.工作方式为自动完成匀胶工艺加工过程。
基片尺寸：ф150mm pr类型：正胶 / 负胶 pr粘稠度：低粘度<100cp / 高粘度<10,000cp pr 供应：气动计量泵 / 电动计量泵 主轴转速：max.6,000rpm 加 速 度：max.30,000rpm/s 匀胶单元：max.3个独立滴胶嘴 热盘单元：50℃-180℃ 冷盘单元：18-28℃ 可选单元：ffu，thc，ad ，ebr etc. 外型尺寸：w1400×d1400×h1800 (mm)
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