上一页： ks-s100-2c/3c 星型全自动匀胶机
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适用于4″、6″标准圆形基片匀胶工艺。
1. 整机采用框架结构，主要由盒站单元、提升器单元、传片单元、匀胶单元、热处理单元、控制系统、光刻胶供应系统及排液系统等组成。
2. 工作方式为自动完成匀胶工艺加工过程。
片盒
热盘
匀胶单元
机械手2
机械手1
基片尺寸：ф100mm～ф150mm
pr类型：正胶/ 负胶/ pi pr粘稠度：低粘度<100cp / 高粘度<10,000cp
pr 供应：气动计量泵/ 电动计量泵 主轴转速：max.5,000rpm 加速度：max.30,000rpm/s 匀胶单元：max.2个独立滴胶嘴 热盘单元：50℃-180℃
可选单元：ffu，cp ，ad，ebr etc. 外型尺寸：w1200×d1300×h1900 (mm)
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