上一页： ks-l150-2d直线型全自动显影机
适用于5″-7″标准光刻板表面刷洗工艺。
1.机台设计精巧，手动上下片自动完成清洗工艺。
2.工艺单元灵活选配，配备高压水、常压水、毛刷、超声清洗等单元，有效去除残留光刻胶及0.5um以上particle。
3.人机交互接口，操作灵活，维护方便。
基片尺寸：125mm*125mmmm～175mm*175mm
常压清洗液：有机溶剂/ 碱性清洗剂
高压清洗液：di水
刷子材料：动物毛/ 尼龙/ pva 主轴转速：max.2,000rpm
可选单元：表面活性剂处理，超声清洗 外型尺寸：w900×d700×h1700 (mm)
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