上一页： ks-l150-2c直线型全自动匀胶机
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适用于6″标准圆形基片显影工艺。
1.整机采用框架结构，主要由盒站单元、传片单元、显影单元、热处理单元、冷盘恒温单元、控制系统、显影液供应系统及排液系统等组成。
2.工作方式为自动完成显影工艺加工过程。
基片尺寸：ф150mm 显影液：正胶显影液（弱碱性）/ 正胶显影液（有机类） 主轴转速：max.6,000rpm 加速度：max.50,000rpm/s 显影单元：max.2个独立滴液嘴 热盘单元：50℃-180℃ 冷盘单元：18-28℃ 可选单元：ffu，thc，bsr etc. 外型尺寸：h1400×w1400×d1800 (mm)
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