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　　适用于在功率芯片制造过程中5″-7″标准光刻板表面刷洗工艺。

　　1.机台设计精巧，手动上下片自动完成清洗工艺。

　　2.工艺单元灵活选配，配备高压水、常压水、毛刷、超声清洗等单元，有效去除残留光刻胶及0.5um以上particle。

　　3.人机交互接口，操作灵活，维护方便。