三体系认证
体系方针:
沈阳芯源永远致力于研发、制造世界一流的半导体生产设备并提供相关服务，永远追求高水平的产品质量、公司环境和员工职业健康安全。
对质量安全的要求：
对产品质量及服务的追求是高水平的而不只是“适合”。
对环境、职业健康安全的要求：
以员工、企业、社会和环境共同持续发展为己任，在活动、产品和服务过程中，坚持“以人为本”和“预防为主”的方针。
semi s2 认证
semi是半导体设备与材料的国际性组织的简称，其制定的semi s2是针对制程设备供货商所规范的基本健康和安全要求的全球性标准和法规，现已经成为全球半导体业界对设备系統的必备的规格要求。符合 semi s2 不仅符合了国际相关规定，也是半导体产业的保险公司所要求的必要条件之一。
目前公司通过semi s2认证的有应用于先进封装领域的ks-s200-sp、ks-s300-sp喷胶系列设备，ks—l100、ks—s200、ks-s300匀胶显影系列设备，ks-cf300/200清洗系列设备。