截至2019年6月30日，公司已获得专利授权159项，其中发明专利134项（中国大陆地区发明专利122项，中国台湾地区发明专利10项，美国发明专利2项），实用新型专利11项，外观设计专利14项；拥有软件著作权37项。并先后主持制定了喷胶机、涂胶机两项行业标准，其中喷胶机行业标准《喷雾式涂覆设备通用规范》（sj/t 11576-2016）已正式颁布实施，涂胶机行业标准《旋转式涂覆设备通用规范》正在审核中。芯源技术及产品荣获国家战略性创新产品、国家重点新产品、中国半导体创新产品和技术奖及省、市科技进步奖等多项奖励。
