经辽宁省技术发明奖评审委员会审查，省政府批准，辽宁省科学技术奖励委员会颁发证书，我公司胡延兵、王绍勇、宗润福、徐春旭、张怀东、侯宪华完成的“超大规模集成电路制造专用显影设备国产化开发”专利成果转化项目被授予2010辽宁省技术发明三等奖。评选省级技术发明奖的宗旨是鼓励和支持企业研制开发技术独特、创造性突出、技术先进的发明成果，并促进技术发明成果转化为生产能力，取得经济、社会效益。能够对解决关键性技术问题，促进相关行业技术进步、产业进步和产业结构优化升级的作用。
专用显影设备是集成电路制造中的关键设备之一，显影设备也是我公司的主导产品。几年来，通过技术创新和攻关，我公司突破了关键技术的专利壁垒，拥有了具有自主知识产权的核心技术，填补了国产超大规模集成电路制造显影装备技术的空白，改变了国内专用显影设备的市场结构，使我国在集成电路制造领域的显影技术提升了三个产品代。
公司专利成果首获省级技术发明三等奖是对我们的鼓励，专利技术转化为新产品是公司创新提高、持续发展的有效途径，希望芯源有更多更好的发明专利开花结果。
