2012年3月，沈阳芯源申报的国家“十二五”科技重大专项项目《300mm晶圆匀胶显影设备研发》项目获得立项批复，该项目总投资2亿元，获国拨经费支持8700万元。
2009年芯源公司牵头承担了国家“十一五”科技重大专项，国拨经费3700万，该项目已按重大专项的要求如期完成了技术攻关任务和产业化任务。2012年公司继续牵头承担国家科技重大专项，主要任务为研制300mm前道光刻工艺的匀胶显影设备产品，通过生产示范线的考核评估, 批量应用。
前段大生产线对匀胶显影设备的工艺要求高、需求量大，占全部匀胶显影设备市场的80%以上。目前，只有2家日本公司垄断全球市场。
芯源的匀胶显影设备在国内led领域市场份额已超过40%，在高端封装领域也已广泛应用，芯源将抓住国家重大专项的历史性机遇，攻克前段匀胶显影设备关键技术，推出有竞争力的产品，为中国主流客户降低成本，创造价值。
