下一页： ks-l200-2cl 全自动清洗机
适用于3”,5”,7”标准光刻板表面刷洗工艺
1. 设计精巧，手动上下片自动完成清洗。
2. 工艺单元灵活选配，配备高压水、常压水、毛刷、超声清洗等单元，有效去除残留光刻胶及0.5um以上particle。
3. 人机交互接口，操作灵活，维护方便。
基片尺寸：75mm*75mmmm～175mm*175mm
常压清洗液：有机溶剂/ 碱性清洗剂
高压清洗液：di水
刷子材料：动物毛/ 尼龙/ pva 主轴转速：max.2,000rpm
可选单元：表面活性剂处理，超声清洗 外型尺寸：w900×d700×h1700 (mm)