沈阳芯源微电子设备有限公司-金沙集团3354.c.c
首 页
您现在的位置:
金沙集团3354.c.c-金沙9001cc以诚为本
>>
产品技术
>>
涂胶设备
>> ks-s300-sp 喷雾式涂胶机
商品分类
涂胶设备
显影设备
清洗设备
去胶设备
刻蚀设备
金沙9001cc以诚为本的产品展示
产品名称:
ks-s300-sp 喷雾式涂胶机
商品编号:
2104
基片尺寸:
200mm,300mm
适用材料:
-
适用工艺:
tsv、mems、wlp
浏览次数:
2326
适用于在高深宽比的晶圆图形表面以高分辨率均匀地涂敷光刻胶,可以有效覆盖沟槽的侧壁和边缘,避免沟槽堆积,节省光刻胶。有效满足tsv/mems/wlp等制程要求。
产品特点:
1.旋流式锥形雾化可均匀覆盖台阶边缘
2.喷嘴自动清洗功能
基片尺寸:
200mm
、
300mm
胶膜厚度:
1μm
~
20μm
胶膜均匀性:
5μm±5%
~
10%
外型尺寸:
w2650×d2200×h2370 (
㎜
)
高端封装 oled 领域
网站地图