用于led-pss工艺的匀胶显影制程及先进封装的匀胶显影等制程
基片尺寸：ф50mm～ф200mm
pr类型：正胶/ 负胶 pr粘稠度：低粘度<100cp / 高粘度<10,000cp
pr 供应：气动计量泵/ 电动计量泵 主轴转速：max.6,000rpm 加速度：max.30,000rpm/s 匀胶单元：max.3个独立滴胶嘴 热盘单元：50℃-180℃ 冷盘单元：18-28℃ 可选单元：ffu，thc，ad ，ebr etc. 外型尺寸：w1660×d1610×h1950 (mm)
