沈阳芯源微电子设备有限公司-金沙集团3354.c.c
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商品分类
涂胶设备
显影设备
清洗设备
去胶设备
刻蚀设备
金沙9001cc以诚为本的产品展示
产品名称:
ks-s150-4st星型去胶机
商品编号:
1203
基片尺寸:
4-6寸
适用材料:
蓝宝石/硅
适用工艺:
led芯片制造/图形化衬底制造
浏览次数:
349
适用于半导体及led芯片制造领域中的光刻胶去除、金属剥离等工艺制程.
特点:
可兼容处理4英寸及6英寸晶圆且配置灵活.
支持两种去胶液摆臂,变速扫描功能.
采用“干进干出”的晶圆加工模式.
化学液循环再利用、金属回收、多种药液分类排放.
光刻胶去除率:100%
金属回收率:≥90%
芯片尺寸:150mm~100mm
外形尺寸:w1800×d1800×h2450 (㎜)
led半导体照明
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