用于先进封装bga,flip-chip,wlp,csp制程和高粘度pr,pi涂覆,显影工艺
晶圆尺寸:300mm,200mm
腔体选配:4c/4d/2c+2d
外形尺寸:w2300xd3850xh2850(mm)
高端封装
oled 领域