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ks-s300
12寸星型涂胶显影机

ks-s300涂胶显影机可用于高端封装、mems、oled等领域的涂胶胶显影制程，每小时可加工100片晶片，同时产品可兼容不同材质的晶片如硅、玻璃片、键合片、化合物等。产品可应用于逻辑类、存储类芯片、摄像头芯片、功率器件芯片、oled制造等领域。曾获得辽宁省优秀新产品二等奖，辽宁省科学技术奖二等奖。产品通过semi s2认证。

产品优势：

1.适合超薄晶圆处理，超厚胶涂敷、显影、烘焙工艺

2.涂胶单元特殊设计，避免高黏度胶离心涂敷时产生的“棉花糖”现象

3.机台为全封闭模块化结构，工艺单元灵活选配

4.占地面积小，产能高

5.工艺上可实现5mm以下晶圆翘曲片的传送加工，热板采用渐进式烘焙

应用领域：

●高端封装

●mems

●oled

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星型全自动涂胶显影机

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