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ks-s150
星型全自动涂胶显影机

ks-s150星型全自动涂胶显影机用于led-pss工艺的涂胶显影制程及先进封装的涂胶显影等制程。可兼容蓝宝石、砷化镓和碳化硅等材质的晶圆，产品涉及多个应用领域，涂胶机产能大于155片/小时。设备通过了csa认证。

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