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涂胶设备显影设备清洗设备去胶设备刻蚀设备

ks-ft200/300
前道8/12寸涂胶显影机

ks-ft200/300系列堆叠式高产能前道涂胶显影机，为我司自主研发的突破晶圆前道28nm工艺节点及以上工艺制程，适用于arf、krf、i-line、pi、barc，soc，sod，sog等多种材料涂覆显影工艺的高端机台。支持与光刻机联机作业。该系列机台为国内首创产品，通过各种行业认证，占地面积小、可靠性高、易于维护，满足各种功能芯片制程需求。

产品优势：

1. 堆叠式高产能架构，占地面积小

2. 可与光刻机联机，满足工厂自动化需求

3. 配备多段回吸的多腔体共用供胶系统，有效节省光刻胶的用量

4.选配高精度热板、wee、aoi等单元部件，满足更高标准工艺需求

5.核心单元模块化设计，组合方式灵活多变，最大限度客制化

应用领域：

●逻辑电路

●cmos射频电路

●功率器件

●mems系统级芯片

●闪存内存

●cis

●驱动芯片

●oled等

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12寸集束型涂胶显影机下一页：ks-s300
12寸星型涂胶显影机

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